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NEWS INFORMATION低噪音磁力泵在半导体行业的应用案例:从晶圆清洗到CMP的静音防线
2026-04-26 低噪音磁力泵凭借其全封闭式磁力耦合传动与极低振动噪声的特性,已成为半导体制造(Fab)厂中高纯化学品与超纯水输送的标准配置。其核心价值在于消除了机械密封带来的泄漏风险与颗粒污染,同时通过低噪音设计满足洁净厂房对环境静音的要求。以下是其在半导体关键制程中的典型应用案例解析。一、晶圆湿法清洗与刻蚀工艺:强腐蚀性药液的“隐形卫士”在晶圆制造的湿法清洗、刻蚀及去胶工序中,介质多为高纯电子级酸碱,具有较强的腐蚀性与危险性。应用案例:刻蚀液循环输送系统在湿法刻蚀设备中,低噪音磁力泵被用于...